序號

號

研究方向名稱

主要研究內(nèi)容、特色與意義

研究生導(dǎo)師（博導(dǎo)注明）

 1

微納電子器件及其集成技術(shù)（ULSI）

該方向主要面向新一代微納電子器件和工藝技術(shù)的需求，重點(diǎn)解決新一代微納電子器件中的新材料、新工藝、新器件以及集成技術(shù)領(lǐng)域的問題和難點(diǎn)。重點(diǎn)開展新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件及其集成技術(shù)、半導(dǎo)體器件模型模擬、小尺寸MOS器件可靠性物理及其應(yīng)用、新型微納電子材料研究等方面的研究。

*王陽元，*張興，*黃如，*康晉鋒，*劉曉彥，*張盛東，*王漪，*傅云義，*廖懷林，于民，孫雷，王金延，劉力鋒，蔡一茂，安霞

 

2

系統(tǒng)集成芯片設(shè)計(jì)及其設(shè)計(jì)方法學(xué)(SOC)

充分利用北京大學(xué)在微電子學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)、電路與系統(tǒng)、信號與信息處理緊密結(jié)合的優(yōu)勢，致力發(fā)展中國自主的系統(tǒng)集成芯片設(shè)計(jì)、數(shù)模混合集成電路設(shè)計(jì)、軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)方法學(xué)。重點(diǎn)開展面向數(shù)?；旌霞呻娐贰OC設(shè)計(jì)方法學(xué)、專用集成電路設(shè)計(jì)與開發(fā)、IP開發(fā)、MPW設(shè)計(jì)驗(yàn)證的環(huán)境建設(shè)等方面的研究；

*王陽元，*張興，*程玉華，*于敦山，*解曉東，*陳中建，*蓋偉新，賈嵩，馮建華，杜剛，何燕冬，王源，魯文高，王陽

 

 3

集成微納系統(tǒng)(MEMS/NEMS)技術(shù)

該方向主要研究微機(jī)電（MEMS）與納機(jī)電（NEMS）器件及系統(tǒng)。集成微納系統(tǒng)集成了微電子技術(shù)、力學(xué)、機(jī)械學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)以及生命科學(xué)技術(shù)，是一門新興的學(xué)科和重大經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。該方向重點(diǎn)研究MEMS/NEMS設(shè)計(jì)技術(shù)、微納制造技術(shù)、新型MEMS/NEMS器件、封裝技術(shù)、相關(guān)處理電路及系統(tǒng)集成技術(shù)。研究的器件和系統(tǒng)包括微型慣性器件、光MEMS、RF MEMS、微流控系統(tǒng)、生物MEMS以及新型NEMS器件等

*郝一龍，*張大成，*吳文剛、*李志宏， *金玉豐，*張海霞、*于曉梅、陳兢、張錦文、張威、楊振川、王瑋、高承臣